Publikation:
Pressurized Bellows in Motion Components for Semiconductor Applications
Datum
2024
Masterarbeit
Frei, D. (2024). Pressurized Bellows in Motion Components for Semiconductor Applications. https://orix.ost.ch/handle/20.500.14978/18809
Zusätzliche Indizierung
| Departement / Abteilung | |
|---|---|
| Institut/ Bereich | |
| Studienabschluss | MSE |
| Studiengang | Technik und IT |
| Titel | Pressurized Bellows in Motion Components for Semiconductor Applications |
| Sprache | eng |
| Autor:in | Frei, Daniel |
| Betreuer:in | |
| Projektpartner | VAT Vakuumventile AG, Haag, St. Gallen |
| Datum der Veröffentlichung | 2024 |
| Thematische Schwerpunkte | Mechanical Engineering |
| Weitere Angaben | MSE Technik und IT |
Metriken
Ansichten
1 seit hinterlegt am 2026-06-18
Erwerbsdatum: 2026-09-12
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