Publikation:
Pressurized Bellows in Motion Components for Semiconductor Applications
Datum
2024
master_thesis
Frei, D. (2024). Pressurized Bellows in Motion Components for Semiconductor Applications. https://orix.ost.ch/handle/item/18809
Zusätzliche Indizierung
| Studienabschluss | MSE |
|---|---|
| Studiengang | Technik und IT |
| Titel | Pressurized Bellows in Motion Components for Semiconductor Applications |
| Sprache | en |
| Autor / Autor:in | Frei, Daniel |
| Betreuer:in | Kauf, Adrian |
| Projektpartner | VAT Vakuumventile AG, Haag, St. Gallen |
| Datum der Veröffentlichung | 2024-06-26 |
| Thematische Schwerpunkte (Schlagwörter) | Mechanical Engineering |
| Weitere Angaben | MSE Technik und IT |
Metriken
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