Publikation:
Copy - Layer thickness sensor for the detection of layer depositions in process chambers
Datum
2023
Bachelor thesis
Mayenknecht, R., & Sameli, M. (2023). Copy - Layer thickness sensor for the detection of layer depositions in process chambers. https://orix.ost.ch/handle/20.500.14978/18835
Zusätzliche Indizierung
| Institut/ Bereich | IMP |
|---|---|
| Studienabschluss | BSc |
| Studiengang | Systemtechnik / Mechatronik |
| Titel | Copy - Layer thickness sensor for the detection of layer depositions in process chambers |
| Sprache | eng |
| Autor:in | Mayenknecht, Raphael Sameli, Michiel |
| Betreuer:in | Gutsche, Martin Huber Lindenberger, Samuel |
| Projektpartner | Inficon, , |
| Datum der Veröffentlichung | 2023 |
| Thematische Schwerpunkte | Microtechnology |
| Weitere Angaben | BS Systemtechnik |
Metriken
Zitationen
