Publikation:
Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen
Datum
2015
Bachelorarbeit
Elsner, S., & Spirig, M. (2015). Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen. https://orix.ost.ch/handle/20.500.14978/22952
Zusätzliche Indizierung
| Institution | Eastern Switzerland University of Applied Sciences (OST) |
|---|---|
| Studiengang | Mechatronics |
| Titel | Prozessentwicklung zur Strukturierung metallischer Schichten mittels Trockenätzen |
| Sprache | deu |
| Autor:in | Elsner, Stefan Spirig, Melanie |
| Betreuer:in | |
| Projektpartner | IMP Inst.f. Mikrotechnik & Photonik |
| Datum der Veröffentlichung | 2015 |
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Erwerbsdatum: 2026-10-14
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