Publikation:
Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating
Datum
2024
master_thesis
Giordano, M. (2024). Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating. https://orix.ost.ch/handle/item/18850
Zusätzliche Indizierung
| Studienabschluss | MSE |
|---|---|
| Studiengang | Technik und IT |
| Titel | Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating |
| Sprache | en |
| Autor / Autor:in | Giordano, Marco |
| Betreuer:in | Lundin, Daniel |
| Projektpartner | Evatec AG, Trübbach, St. Gallen |
| Datum der Veröffentlichung | 2024-02-15 |
| Thematische Schwerpunkte (Schlagwörter) | Photonics |
| Weitere Angaben | MSE Technik und IT |
Metriken
Zitationen
Dateien zum Herunterladen
Lade...
Dateigröße420.46 KB
