Publikation:
Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating
Datum
2024
Masterarbeit
Giordano, M. (2024). Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating. https://orix.ost.ch/handle/20.500.14978/18850
Zusätzliche Indizierung
| Departement / Abteilung | |
|---|---|
| Institut/ Bereich | |
| Studienabschluss | MSE |
| Studiengang | Technik und IT |
| Titel | Aluminum Nitride Deposition via HiPIMS Without External Heating |
| Sprache | eng |
| Autor:in | Giordano, Marco |
| Betreuer:in | |
| Projektpartner | Evatec AG, Trübbach, St. Gallen |
| Datum der Veröffentlichung | 2024 |
| Thematische Schwerpunkte | Photonics |
| Weitere Angaben | MSE Technik und IT |
Metriken
Zitationen
Dateien zum Herunterladen
Lade...
Dateigröße420.46 KB
