Publikation:
Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern
Datum
2023
bachelor_thesis
Mayenknecht, R., & Sameli, M. (2023). Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern. https://orix.ost.ch/handle/item/18738
Zusätzliche Indizierung
| Institut | IMP |
|---|---|
| Studienabschluss | BSc |
| Studiengang | Systemtechnik / Mechatronik |
| Titel | Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern |
| Sprache | de |
| Autor / Autor:in | Mayenknecht, Raphael, Sameli, Michiel |
| Betreuer:in | Huber Lindenberger, Samuel |
| Projektpartner | Inficon, , |
| Datum der Veröffentlichung | 2023-09-17 |
| Thematische Schwerpunkte (Schlagwörter) | Mikrotechnik |
| Weitere Angaben | BS Systemtechnik |
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