Publikation:
Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern
Datum
2023
Bachelorarbeit
Mayenknecht, R., & Sameli, M. (2023). Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern. https://orix.ost.ch/handle/20.500.14978/18738
Zusätzliche Indizierung
| Departement / Abteilung | |
|---|---|
| Institut/ Bereich | |
| Studienabschluss | BSc |
| Studiengang | Systemtechnik / Mechatronik |
| Titel | Schichtdickensensor zur Detektion von Schichtablagerungen in Prozesskammern |
| Sprache | deu |
| Autor:in | Mayenknecht, Raphael Sameli, Michiel |
| Betreuer:in | |
| Projektpartner | Inficon, , |
| Datum der Veröffentlichung | 2023 |
| Thematische Schwerpunkte | Mikrotechnik |
| Weitere Angaben | BS Systemtechnik |
Metriken
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1 seit hinterlegt am 2026-06-18
Erwerbsdatum: 2026-09-12
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