Publikation:
PHOTONICS METROLOGY IN THE NANOSCALE
Datum
2022
conference_paper
Reichelt, S., Frenner, K., Schober, C., & Pruss, C. (2022, December 13). PHOTONICS METROLOGY IN THE NANOSCALE. Precision Photonic Systems | 30.11.2022-1.12.2022 | Dornbirn. https://doi.org/10.5281/zenodo.7431783
Zusammenfassung
Zusätzliche Indizierung
| Institution | Institute of Applied Optics, University of Stuttgart |
|---|---|
| Titel | PHOTONICS METROLOGY IN THE NANOSCALE |
| Sprache | eng |
| Autor / Autor:in | Frenner, Karsten, Schober, Christian, Pruss, Christof |
| Erschienen in | Precision Photonic Systems | 30.11.2022-1.12.2022 | Dornbirn |
| Datum der Veröffentlichung | 2022-12-13 |
| Publikationsstatus | published |
| URL - Externer Link | |
| submissions.sections.form.dc.relation.replaced.label | true |
| Ersetzt | 0 |
| Thematische Schwerpunkte (Schlagwörter) | Nanometrology Model-based optical scatterometry White-light interferometry Mueller polarimetry Large-volume Nanopositioning and Nanomeasuring Machine (NPMM-200) |
| Dateistatus | open |
| Lizenz (Nutzungsrechte) | CC-BY-4.0 |
Metriken
Zitationen
