Publikation:

Layer thickness sensor for the detection of layer depositions in process chambers

Datum

2023
bachelor_thesis
Zitat wurde kopiert
Mayenknecht, R., & Sameli, M. (2023). Layer thickness sensor for the detection of layer depositions in process chambers. https://orix.ost.ch/handle/item/18766

Zusätzliche Indizierung

Institut
IMP
Studienabschluss
BSc
Studiengang
Systemtechnik / Mechatronik
Titel
Layer thickness sensor for the detection of layer depositions in process chambers
Sprache
en
Autor / Autor:in
Mayenknecht, Raphael,
Sameli, Michiel
Betreuer:in
Gutsche, Martin
,
Huber Lindenberger, Samuel
Projektpartner
Inficon, ,
Datum der Veröffentlichung
2023-09-17
Thematische Schwerpunkte (Schlagwörter)
Microtechnology
Weitere Angaben
BS Systemtechnik

Metriken

Zitationen

Dateien zum Herunterladen

Lade...
Vorschaubild
Dateigröße680.3 KB